检测项目

密封性能检测：

• 泄漏率检测：最大允许泄漏量 ≤1×10^{-9} mbar·L/s（参照ISO 3568）
• 真空度保持：真空度下降速率 ≤0.1 Pa/h
• 密封件耐久性：循环测试 ≥10000 cycles

• 极限真空度测试：目标值 ≤1×10^{-6} Pa
• 抽速效率：抽气速率 ≥50 L/s
• 压力稳定性：波动范围 ±0.5%

• 残留气体浓度：H2O ≤10 ppm，O2 ≤1 ppm
• 气体渗透率：最大渗透量 5×10^{-10} mol/m²·s
• 化学成分偏差：元素含量偏差 ±0.01 wt%

• 抽气时间：达到目标真空度时间 ≤30 min
• 系统响应：压力恢复速率 ≤0.2 Pa/min
• 泵效率：容积效率 ≥90%

• 氦气检漏：灵敏度 10^{-12} mbar·L/s
• 压力衰减：衰减值 ≤0.05 mbar/h
• 微泄漏定位：位置精度 ±1 mm

• 总放气量：单位面积放气率 ≤1×10^{-10} mbar·L/s·cm²
• 温度依赖性：放气率随温度变化斜率 ≤0.01
• 材料兼容性：放气成分偏差 ±2%

• 温度循环：-50°C至150°C循环测试
• 振动影响：振动频率 5-2000 Hz，振幅 ≤0.5 g
• 湿度耐受：相对湿度 95%条件下真空稳定性

• 老化性能：连续运行时间 ≥1000 h
• 磨损评估：密封件磨损率 ≤0.01 mm/1000 h
• 失效阈值：失效压力 ≥100 kPa

• 过压防护：安全阀开启压力 150±5 kPa
• 气体排放控制：有害气体浓度 ≤1 ppm
• 电气安全：绝缘电阻 ≥100 MΩ

• 功耗监测：单位抽气功耗 ≤0.5 kWh/m³
• 热损失：系统散热效率 ≥85%
• 回收率：气体回收效率 ≥95%

检测范围

1. 真空泵系统： 涵盖涡轮分子泵及干式泵，重点检测抽速效率和极限真空度衰减

2. 密封阀门组件： 包括金属密封阀及弹性体阀座，侧重泄漏率测试和高温密封性能

3. 真空腔体结构： 不锈钢及铝合金腔体，检测焊缝完整性及内壁放气率分布

4. 管路连接系统： 金属波纹管及法兰连接，重点评估接头泄漏和气体渗透特性

5. 半导体制造设备： 晶圆处理腔室及PVD系统，检测真空度精度及残留气体污染控制

6. 航空航天部件： 卫星推进器及燃料箱，侧重极端环境真空保持和安全阀响应

7. 涂层材料表面： 防反射涂层及保护膜，重点测试放气率及真空条件下的附着力

8. 复合绝缘结构： 陶瓷绝缘体及聚合物基材，检测气体渗透率和温度循环耐久性

9. 焊接装配组件： 压力容器焊缝及真空法兰，评估微泄漏定位和疲劳寿命

10. 橡胶密封元件： O型圈及垫片材料，侧重压缩永久变形及气体相容性分析

检测方法

国际标准：

• ISO 3568:2020 真空技术泄漏检测方法（使用氦质谱法）
• ASTM F2600-23 真空系统密封性能测试规程
• JIS Z 8761:2019 真空度测量方法（差压计法）

• GB/T 3163-2022 真空技术术语及泄漏检测方法（与ISO 3568在灵敏度标定上差异显著）
• GB/T 17747.1-2021 真空系统性能测试方法（抽速测试参数设置与ASTM F2600存在偏差）
• GB/T 19229-2023 真空设备安全规范（包含过压防护测试，国际标准中未明确）

检测设备

1. 氦质谱检漏仪： Agilent HLD-5000（检测灵敏度 10^{-12} mbar·L/s）

2. 高真空计： Pfeiffer PKR 365（测量范围 10^{-12}至1000 mbar，精度 ±0.5%）

3. 四极杆质谱仪： INFICON Transpector MPH（质量范围 1-300 amu，检测限 10 ppb）

4. 电子万能试验机： INSTRON 5967（载荷范围 0.01-50 kN，分辨率 0.001 N）

5. 温度循环试验箱： ESPEC SH-222（温度范围 -70°C至180°C，波动度 ±0.5°C）

6. 真空抽气系统： Edwards nXRi 系列（抽速 500 L/s，极限真空 5×10^{-10} mbar）

7. 气体分析色谱仪： Shimadzu GC-2030（检测限 0.1 ppm，柱温精度 ±0.1°C）

8. 振动测试台： Labworks ET-132（频率范围 5-3000 Hz，最大加速度 100 g）

9. 压力衰减测试仪： Uson Decagon（压力范围 0.01-1000 kPa，精度 ±0.1 kPa）

10. 热分析仪： NETZSCH STA 449 F3（温度范围 -150°C至1600°C，分辨率 0.1 μg）

11. 光学泄漏定位系统： Leybold SpectroLite（定位精度 ±1 mm，扫描速度 10 cm/s）

12. 能源效率监测器： Fluke 435B（功耗测量精度 ±0.5%，数据采样率 100 Hz）

13. 表面放气率测试仪： Vacgen VG-100（测量范围 10^{-14}至10^{-6} mbar·L/s·cm²）

14. 电气安全测试器： Chroma 19032（绝缘电阻测试范围 0.01-1000 MΩ）

15. 环境模拟舱： Weiss Technik WK11（湿度控制范围 10-98% RH，温度 -40°C至100°C）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。